微電子工業(yè)的不斷發(fā)展，在冷卻水的使用方面，更多的補充變得越來越大，同時對冷卻水的可靠性，安全性和穩(wěn)定性也提出了更嚴格的要求。替代的增加，必然導致不斷增長的趨勢。隨著當前能源的日益緊俏，如何選擇高效節(jié)能的換熱器以及如何確保換熱器運行過程的節(jié)能降耗，已成為“能源管理者們”義不容辭職的責任。換熱器污堵后的增加問題，分析污堵產(chǎn)生的原因，探索如何清除換熱器污堵以及如何提高換熱效率的可行方法。

板式換熱器的特點及工作原理

板式變頻器的特點板式注射器是一種新型高效的換熱設備，它具有傳熱效率高，結構緊湊，體積小，易于安裝的優(yōu)點，并且可根據(jù)不同的工藝要求，非常方便地組合成任意流量形式。因此它被廣泛用于石油，化工，冶金，機械，輕工，食品，醫(yī)藥，電力，涂裝，供熱等工業(yè)領域，允許在微電子行業(yè)的冷卻水，純水和超純水系統(tǒng)中也被廣泛采用。

板式變頻器的工作原理板式變頻器的工作是通過傳熱機理進行的，根據(jù)熱力學定律，總是由高溫物體自發(fā)地傳向低溫物體。當兩種流體存在溫度差時，就本質(zhì)上是有進行傳導的，兩種存在溫度差的流體在受迫對流傳熱過程中，由于板式換熱器的換熱片表面采用瓦愣波結構優(yōu)化設計，從而熱交換率達到92％以上，即使只是流體變量在雷諾準數(shù)值以下，流體在板片之間的運動也呈三維運動，則流體形成垂直誤差動，減少邊界層熱阻，增強傳熱效率。，）和（b）分別是冷媒流體（冷凍水）和工作流體（冷卻循環(huán)水）的換熱片。比較）和（b）可以切割，冷媒流體換熱片與工作流體換熱片，實際上是同一換熱片經(jīng)過180°的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)瓦愣波結構在冷媒流體側(cè)朝上劃分，低溫度的冷凍水從換熱片的下面進人，通過瓦楞波結構的換熱片換熱后溫度升高，從換器的上面一部分。而在T作流體側(cè)則恰好相反，瓦愣波結構是朝下隔開的，溫度較高的冷卻水從換熱片的上面進入，通過瓦愣波結構的換熱片換熱后溫度降低，從換熱片的下面穿過，這樣就完成了冷卻水的整個熱交換過程。而當冷媒流體為高溫熱水，工作流體為溫度降低的冷水時，則必須使丁作流體從換熱器的下面進人。設置瓦愣波結構的目的是流道比較均勻，另外流體通過瓦愣波結構流動時總是朝著邊緣流動，這樣可以減少邊緣效應，防止污垢在邊緣處積累和一級。而管式換熱器則難以避免這一問題。

換熱器的熱阻由于冷凍水（冷媒流體）與循環(huán)冷卻水（工作流體）不是直接接觸的，它們是通過換熱片將循環(huán)冷卻水的流通傳給冷凍水，此時較高溫度的循環(huán)冷卻水的溫度降低成為低溫流體。當換熱片中間的流體為恒溫傳熱時，它包括了=個過程：①循環(huán)冷卻水（工作流體）在流動過程中把量子傳到換熱片壁上的對流傳熱過程；②換換熱片的突變過程；③由另一側(cè)的換熱片壁把轉(zhuǎn)化傳給冷凍水（冷媒流體）的對流傳熱。

 當無污垢時其體積的總熱阻|可用交替?zhèn)鳠崦娣em2；心表示冷媒流體（冷卻循環(huán)水）換熱面積表示換熱片的平均面積m2；分別為工作流體側(cè)和冷媒流體側(cè)的加速度系尺和則分別表示工作流體側(cè)的污垢熱阻和冷媒流體側(cè)的污垢熱阻。

 比較整個的換熱器的熱效率降低，增大。因此在換熱器的實際運行中，必要的控制控制換熱片表面不形成污垢，或及時清除換熱片表面已經(jīng)形成的污垢，以利節(jié)能。

水垢的形成及危害冷卻水在熱交換過程中，由于冷媒流體（冷凍水）吸收了工作流體（冷卻水）的轉(zhuǎn)化，導致溫度升高，此時原來溶解水中的Ca（HC3）2和這些鎂2在溫度的作用下析出C02生成微粉碎水的CaC3和MgCO3。由于CaCO，和MgC3的溶解度隨溫度的上升而下降，從水中析出結晶。當這些結晶物不斷地沉積于換熱器時表面，便形成了很硬的水垢。其反應如下：水垢的主要危害是降低熱交換器的換熱效率，造成的增量。而當水垢出現(xiàn)在工作流體（冷卻水）側(cè)時，會引起冷卻水的流量不足和壓力降低，嚴重時造成停產(chǎn)。